洁净室真空系统的泄漏检测至关重要，因为泄漏不仅会导致能耗增加、真空度下降，还可能引入污染物，影响洁净室的环境稳定性。以下是几种实用且高效的泄漏检测方法及其操作要点：

1. 压力衰减测试（保压测试）

-原理：关闭系统后监测压力变化，判断是否存在泄漏。

-步骤：

1. 将真空系统抽至目标真空度后关闭阀门。

2. 使用高精度压力传感器记录压力随时间的变化。

3. 若压力回升速度超过允许范围（例如每小时上升超过0.1 mbar），则判定存在泄漏。

-优点：操作简单，成本低，适合初步筛查。

-缺点：灵敏度较低，无法定位泄漏点。

-适用场景：小型系统或日常快速检查。

2. 氦质谱检漏法

-原理：利用氦气作为示踪气体，通过质谱仪检测其浓度变化。

-步骤：

1. 将氦气喷枪沿管道、阀门等可疑区域喷洒。

2. 质谱仪实时监测真空系统中氦气浓度，触发警报时标记泄漏点。

3. 可结合“吸枪法”（系统抽真空后外部喷洒氦气）提高效率。

-优点：灵敏度极高（可检测至10⁻⁹ mbar·L/s），精准定位泄漏。

-缺点：设备昂贵，需专业人员操作，氦气成本较高。

-适用场景：高精度要求的系统（如半导体制造、科研设备）。

3. 超声波检测法

-原理：泄漏点会产生高频声波，通过超声波探测器捕捉信号。

-步骤：

1. 启动真空系统，使其处于工作状态。

2. 使用手持式超声波检测仪扫描管道、接头等区域。

3. 根据耳机或显示屏的声波强度变化定位泄漏点。

-优点：非侵入式，快速定位，适合在线检测。

-缺点：背景噪声可能干扰检测，需在相对安静环境中操作。

-适用场景：中大型系统或复杂管网的泄漏排查。

4. 泡沫剂/气泡测试法

-原理：在可疑区域涂抹发泡剂，观察是否产生气泡。

-步骤：

1. 系统保持正压（可充入压缩空气或氮气）。

2. 在焊缝、法兰、密封圈等部位喷涂肥皂水或专用发泡剂。

3. 若出现持续气泡，则判定为泄漏点。

-优点：成本极低，操作直观。

-缺点：仅适用于正压检测，可能污染洁净室环境。

-适用场景：粗检或无法使用精密仪器的场合（需评估洁净度风险）。

5. 真空计分段排查法

-原理：通过分段隔离系统，观察真空计读数变化。

-步骤：

1. 将系统划分为若干区段，依次关闭隔离阀。

2. 监测各段真空度恢复速度，确定泄漏发生的区域。

3. 进一步缩小范围，结合其他方法（如氦检）精确定位。

-优点：系统性排查，减少盲目搜索。

-缺点：依赖系统设计的分段隔离能力。

-适用场景：大型复杂真空管网。

6. 红外热成像法

-原理：泄漏点附近因气体膨胀吸热导致温度变化，通过热像仪捕捉温差。

-步骤：

1. 系统保持运行状态，确保有气体流动。

2. 使用红外热像仪扫描管道表面，识别异常低温区域。

-优点：非接触式，适合高空或隐蔽区域检测。

-缺点：灵敏度受环境温度影响，需温差显著时效果较好。

-适用场景：气体流速较高的泄漏点检测。

操作注意事项

1.安全防护：使用氦气时确保通风，避免窒息风险；接触发泡剂需戴手套。

2.洁净室兼容性：优先选择无污染的方法（如氦检、超声波），避免引入颗粒或化学残留。

3.记录与分析：记录泄漏点位置、大小及修复结果，建立维护数据库。

4.预防性维护：定期更换密封件、检查阀门，减少泄漏概率。

方法选择建议

-微小泄漏（<10⁻⁵ mbar·L/s）：氦质谱法。

-中大型泄漏：超声波检测或泡沫剂法。

-系统级快速筛查：压力衰减测试或真空计分段法。

-在线监测：安装永久性真空计或传感器，实时监控压力波动。

通过结合多种方法，可高效完成泄漏检测与修复，确保洁净室真空系统的稳定运行。