基于历史对话和搜索结果，洁净室真空清扫系统的安装需严格遵守以下规范，确保系统高效运行且不破坏洁净环境：

一、管道系统安装规范

材质与密封性

管道首选304不锈钢或UPVC硬塑料，内壁光滑、耐腐蚀、无尘粒脱落。

所有连接处需采用密封胶或法兰密闭，施工缝隙必须用硅胶填充，防止漏气28。

水平管道需设坡度（≥0.5%），坡向集尘器或立管，避免积尘。

布局与尺寸

主管道直径通常≥100mm，支管≥50mm；弯头曲率半径≥4倍管径，三通夹角≤45°以减少阻力。

吸尘口间距按作用半径设计（一般6-12m），覆盖洁净室全域。

二、主机与集尘设备安装

位置要求

主机必须置于洁净室外（如技术夹层或机房），避免噪音和排气污染洁净区。

集尘器安装在真空泵吸入端，与主机同步配置防爆装置（易燃易爆环境）348。

减震与固定

主机需安装减震垫或弹簧支架，排风口连接消音器。

集尘桶容量按清扫面积匹配（50L–500L），材质防静电（如不锈钢）48。

三、末端组件安装要点

吸尘口类型

高架地板型：与地板平齐密封，嵌入不锈钢盖板防位移57。

墙板型：高度距地30-50cm，避开高效送风口及设备7。

所有吸口不使用时需加盖密封。

阀门与控制

吸尘阀门选用气动或电动型，响应时间＜1秒；控制柜独立安装于机房外58。

四、电气与安全规范

电源与接地

系统需独立配电，接地电阻≤4Ω；生物洁净室必须配置防爆电机38。

自动化控制

PLC系统集成压差传感器，实时监测管道负压（通常-30kPa至-50kPa）及过滤器状态48。

五、调试与验证流程

初始测试

气密性检测：24小时保压试验，压差衰减≤10%8。

风机正反转验证，吸力测试（≥1000m³/h）8。

清洁验证

安装后彻底清扫管道内壁，运行前用粒子计数器检测出口空气洁净度（符合ISO 14644标准）17。

六、特殊场景要求

防爆环境（如药厂、化工厂）：

管道需全程静电跨接，主机ATEX认证，过滤器阻燃48。

无菌洁净室：

吸口增加灭菌接口，支持过氧化氢蒸汽消毒7。

以上规范综合了半导体、制药、电子等行业标准，具体执行时需结合项目图纸及JGJ 71-90《洁净室施工及验收规范》。实际安装案例可参考：

集中式系统设计 3512

移动式系统应用场景 [[4]]