在洁净室气密性测试中，真空清扫系统主要通过以下方式发挥作用：

一、测试前的环境准备

微粒清除

真空清扫系统通过高效过滤器（如HEPA或ULPA）清除洁净室内沉降的微粒，确保测试环境无污染干扰。例如，电子洁净室常用滤筒式过滤器，对0.3μm以上颗粒过滤效率达99%以上8。

管道密封性保障

系统采用气密性管道设计（如热收缩套管连接），避免测试过程中因管道泄漏导致气压波动8。

二、辅助气密性测试流程

压力衰减法配合

测试前需关闭所有门、传递窗及回风阀，真空清扫系统可辅助检查密封状态，确保无残留微粒堵塞缝隙。

在压力衰减过程中，若发现异常泄漏，可通过真空吸尘组件快速定位泄漏点。

恒压法补气支持

真空泵或空气压缩机可作为补气/抽气设备，维持测试压力稳定，例如恒压法中通过调节补气流量量化漏泄量。

三、泄漏检测与修复

颗粒追踪定位

真空清扫系统通过吸尘口吸附泄漏的微粒，结合红外热像仪或气体流向仪，辅助识别泄漏路径。

密封修复验证

修复后需重新测试，真空清扫系统可再次清洁环境，避免残留颗粒干扰检测结果48。

四、系统设计要点

过滤效率与反吹功能

采用PTFE覆膜滤材或布袋除尘器，配合自动脉冲反吹，确保长期运行中过滤效率稳定8。

低噪音与自动化控制

PLC变频系统和静音设计避免干扰测试环境，同时支持远程操控和数据记录。

五、应用场景与标准

适用场景：半导体、制药、生物实验室等高洁净度环境的气密性测试。

参考标准：ISO 14644-3（气密性测试规范）、EN 1822-4（过滤器泄漏测试）。

通过上述方式，真空清扫系统不仅保障了测试环境的洁净度，还提升了气密性检测的精准性和效率。如需具体设备参数或测试流程，可参考相关标准文件或联系专业检测机构。