无尘车间真空清扫系统配件包括地阀、墙阀、吸尘工具组件等。以下将具体介绍无尘车间真空清扫系统的配件：

地阀：地阀是集尘用吸入口组件之一，通常装置于高架地板上。它连接集尘设备和集尘工具组之阀件，利用集尘风机吸出的强风将无尘室人员或是空间上所带微小灰尘去除，达到清洁的目的。适用于半导体及液晶光电等无尘环境，其材质通常为不锈钢，以确保耐腐蚀性和洁净度。

墙阀：墙阀同样是集尘用吸入口组件之一，但与地阀不同，它装置于墙板上。墙阀的工作原理与地阀相似，通过连接集尘设备和集尘工具组之阀件，利用强风将微小灰尘吸除，维持无尘室等级。

吸尘工具组件：吸尘工具组件是无尘车间真空清扫系统中不可或缺的部分，它们与地阀和墙阀配合使用，用于收集粉尘。这些工具组件设计精巧，能够适应不同环境和需求，提供高效的清洁效果。

无尘车间真空清扫系统的配件种类繁多，每一种配件都对系统的正常运行和高效清洁起着至关重要的作用。在选择配件时，应根据实际需求和系统特点进行合理配置，确保无尘车间的洁净标准得到满足。