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洁净室真空清扫的适用洁净等级范围

返回列表 来源: 上海麒熊环保科技有限公司 发布日期: 2025.09.12

洁净室真空清扫系统的全等级覆盖方案:从十万级到Class 1的精密守护

在洁净环境管控中,不同洁净等级对应着严苛且差异化的微粒控制标准。作为洁净室日常维护的核心手段,真空清扫系统的适用性直接取决于其技术性能与洁净等级的匹配程度。麒熊环保依托多年技术积累,推出覆盖全洁净等级的一站式真空清扫解决方案,从十万级工业车间到Class 1超净环境均能提供精准防护。

洁净室分级标准以单位体积微粒数量为基准:

Class 100,000级(ISO 8)允许≥0.5μm粒子数≤352万/立方米

Class 10,000级(ISO 7)微粒上限降至352,000个

Class 100级(ISO 5)严控至≤3,520个

Class 1级(ISO 3)要求微粒数不超过10个

不同级别对清扫设备提出了阶梯式技术要求。

中低等级洁净室(Class 100,000至10,000级)的清扫方案

此类环境常见于食品、包装、机械制造等行业车间,允许采用集中式真空清扫系统。麒熊环保的YEQ系列采用大流量负压设计,处理风量可达5000m³/h,通过防静电镀锌钢管网络连接车间多点吸口。其三级过滤配置(初效+袋式+HEPA)确保排放气体含尘浓度低于8g/Nm³,完全满足十万级至万级洁净需求。该系统特别优化了纺织、粮食加工业的特殊工况:

内壁光滑管道避免棉絮黏连

脉冲反吹技术解决高湿度粉尘导致的滤芯堵塞

真空压缩功能提升轻质絮状物收集效率

高等级洁净室(Class 1,000至100级)的精密清扫

半导体、医药无菌车间等场景要求微粒控制精度跃升。麒熊环保为此类环境定制HEPA/ULPA过滤超净系统:

配置H14级HEPA过滤器,对0.3μm微粒截留率达99.995%

采用不锈钢密闭主机与防静电软管,杜绝清扫过程中的二次污染

支持Class 100(ISO 5)标准,实测排放空气微粒数低于3520个/m³

在制药行业D级洁净区物料净化环节,该系统通过高负压吸附技术有效清除外包材微粒,避免人工擦拭导致的交叉污染,显著降低微生物超标风险。

超高洁净环境(Class 10级及以上)的极限防护

面对新能源电池车间、半导体晶圆生产线等Class 10至Class 1超净环境,麒熊环保SINOVAC CVE系列实现技术突破:

搭载ULPA U17过滤器,对0.12μm微粒过滤效率高达99.9995%

全系统无硅无析出材料符合SEMI F72标准

超低泄漏率设计(<0.01%)与变频控制功能,保障清扫时洁净度波动不超过±5%

该设备在锂电正极材料车间的应用显示,清扫后0.1μm微粒残留量稳定控制在5个/m³以下,优于Class 1级要求。

麒熊环保的技术创新与跨行业适配能力

为构建全等级覆盖的技术护城河,麒熊环保持续突破关键瓶颈:

防爆安全体系:ATEX认证防爆电机+导电组件+抑爆系统,解决铝粉、煤化工等易燃场景

智能管理平台:实时监测压差、风量参数,预警过滤器失效风险,降低运维成本30%

模块化扩展设计:基础主机可灵活选装ULPA模块、化学过滤器等,实现千级向百级的无缝升级

该系统已成功应用于光伏、生物制药、芯片制造等二十余个行业。在某半导体封测工厂的对比测试中,麒熊设备在Class 100洁净室的清扫效率达传统擦拭法的6倍,且洁净度恢复时间缩短至8分钟。

麒熊环保以真空清扫为技术锚点,构建起从万级工业车间到Class 1超净环境的全频谱防护体系。其设备不仅满足现行洁净标准,更通过前瞻性设计预留技术冗余。当新一代芯片工厂迈进Class 0.1时代,真空清扫系统已做好迎接埃米级微粒挑战的准备。在精密制造与生命科学领域,洁净室清扫技术正从辅助工序升级为良率守护的核心环节,而全等级适配能力将成为国产高端制造的隐形基石。

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