以下是针对洁净室真空清扫系统管道密封性检测的专业方法总结，结合行业标准与实践经验整理而成：

一、压力衰减法（半衰期法）

原理：通过加压或抽负压使管道达到设定压力，关闭系统后观察压力衰减速度，计算压力降至初始值一半所需时间（半衰期），评估密封性。

步骤：

准备：关闭管道所有阀门及开口，确保环境温度稳定（记录精度需达0.1℃）。

加压/抽真空：

正压测试：通过风机或空压机将管道加压至500Pa（或其他设定值）。

负压测试：用真空泵抽至-500Pa，稳定后关闭系统。

监测衰减：每1分钟记录压力与温度，直至压力衰减至初始值50%。

判定标准：半衰期越长，密封性越好；若衰减过快（如短于标准值），需定位泄漏点。

适用场景：适用于洁净室围护结构及真空管道的快速筛查，设备要求较低。

二、恒压法（泄漏量测试）

原理：维持管道恒定压力，通过补气量或抽气量量化泄漏程度。

步骤：

系统封闭：密封管道所有接口，正压测试时关闭排风阀，负压测试时关闭送风阀。

压力维持：

正压：加压至500Pa，通过补气装置（如空压机）维持压力，记录补气流量（即泄漏量）。

负压：抽至-500Pa，用真空泵维持压力，记录抽气量。

数据记录：每分钟记录流量，持续5分钟取平均值。

优势：直接量化泄漏率（如m³/h），精度高于压力衰减法。

三、真空抽吸法（负压密封试验）

原理：模拟真空清扫工况，通过负压检测泄漏点。

步骤：

抽真空：用真空泵将管道抽至设定负压（如-90kPa），稳压1小时。

泄漏检测：

皂液涂抹法：在焊缝、法兰等连接处涂抹皂液，观察气泡产生。

电子检漏仪：用高精度传感器（如氦质谱仪）定位微小泄漏。

判定标准：泄漏率需低于行业阈值（如≤1×10⁻⁶ Pa·m³/s）。

适用场景：高洁净等级要求的管道系统（如生物制药车间）。

四、气体示踪法（氧含量监测）

原理：向管道注入惰性气体（如氮气），通过氧传感器监测氧气浓度变化，反推泄漏率。

步骤：

气体置换：用氮气置换管道内空气，使氧浓度降至1%以下。

持续监测：使用氧化锆氧传感器（如O2S-FR-T2-18C/B/A）实时记录氧浓度回升速度。

计算泄漏：浓度回升越快，密封性越差。

优势：非破坏性、可在线监测，适合复杂管网。

安全与操作要点

防护措施：

操作人员需穿戴护目镜、手套，设置警戒标识。

负压测试时避免管道塌陷，正压测试时防爆裂。

仪器校准：压力表精度需达±10Pa，温度传感器分辨率≤0.1℃。

恢复操作：测试后缓慢释放压力，防止气流冲击损坏设备。

方法选择建议

场景 推荐方法 依据标准

日常快速筛查 压力衰减法 GB 50591-2010

泄漏量化验收 恒压法 ASTM D3078

高精度检测（微小泄漏） 真空抽吸法+电子检漏 ISO 14644

长期在线监测 气体示踪法 企业定制标准

提示：检测前需确认管道清洁无尘，避免杂质干扰结果4定期检测建议每季度一次，系统改造后必须复测。