以下是基于搜索结果整理的洁净室真空清扫设备常见故障代码手册及处理指南，结合设备原理与维护规范综合归纳：

一、核心故障代码及处理方案

真空泵机械故障

表现：真空泵抽吸能力下降，系统无法达到设定真空度。

可能原因：

真空泵内部磨损或轴承损坏（需专业拆检）

管道泄漏或密封件老化（检查管路连接处气密性）

处理：

停机后检查真空泵运行声音是否异常；

使用真空计检测系统泄漏点

真空度过高/过低报警

代码示例：

真空度过高停机

/

真空度过低停机

原因及处理：

故障类型 可能原因 解决方案

真空度过高 流量计故障、气路堵塞 清洁/更换流量计；检查气路阀门开度

真空度过低 压缩空气压力不足（需0.4~0.6MPa） 调整空压机输出压力检查过滤器堵塞情况

真空计故障报警

表现：控制屏显示传感器异常或读数漂移。

处理：

校准或更换真空计传感器；

检查信号线路连接是否松动

电源故障代码

触发条件：电压波动（要求400V±5%）或断路器跳闸。

操作：

用万用表检测输入电压稳定性；

复位断路器并检查负载是否过载。

二、辅助系统故障关联项

过滤系统报警：

高效过滤器（HEPA）阻力达初阻1.5~2倍时需更换

二级除尘器堵塞可能导致真空度异常（参考5旋风分离+滤芯双级结构）。

控制模块故障：

PLC程序报错（如电磁阀延时失效）需检查时间继电器设定。

三、安全操作与预防维护

故障复位原则：

排除根本原因后再复位，避免反复触发保护机制

日常预防措施：

压缩空气压力：每日开机前确认压力在0.4~0.6MPa

过滤器维护：定期反吹滤芯（自动/手动模式）

密封检查：每月检测管道气密性，重点检查法兰接口。

安全规范：

故障时立即切断电源与气源，严禁带病运行

维修时佩戴防静电装备，避免二次污染洁净环境。

四、厂商技术资源指引

专用手册获取：

百度文库提供《故障代码手册》4，含品牌设备详细代码；

设备控制屏故障描述可结合厂商手册（如西门子、里其乐等品牌）交叉验证

专业支持：

复杂故障联系设备供应商（如托理拆利机电提供维保服务）。

提示：完整故障代码因设备品牌型号差异较大，建议优先查阅设备附带的原厂手册（参考415），或提供具体代码进一步分析。