真空清扫系统通过控制负压气流实现洁净室高效清洁，其设计需严格匹配洁净室气流环境（通常0.25-0.5m/s），以避免干扰原有气流组织。以下是关键控制要素及系统设计要点：

一、气流速度控制的核心原则

洁净室基础风速要求

常规洁净室气流速度需维持在 0.25~0.5m/s 区间，此范围可平衡洁净度与能耗。速度过低（0.7m/s）则增加运营成本。

单向流洁净室需确保气流均匀稳定，真空清扫的吸入口设计应避免局部湍流27。

真空系统负压与风速匹配

系统通过 稳压阀 动态调节负压（如-27kPa~-23kPa），维持吸尘管路内稳定气流，防止速度波动引发涡流38。

吸尘终端（地阀、吸头）需保证吸入面风速均一，避免速度差异导致粉尘残留。

二、真空清扫系统的优化设计

主机与管路分离设计

主机置于洁净室外，通过管道网络连接室内吸口，杜绝二次污染（噪音、排气）。

管道采用 热缩套管连接，确保气密性，内壁光滑减少粉尘附着；水平管道需设坡度，坡向集尘器58。

多级过滤与气流净化

气旋预分离+滤筒/HEPA过滤：85%以上大颗粒粉尘经气旋分离，剩余微尘由高效过滤器拦截（对0.3μm微粒效率≥99.97%）。

自动脉冲反吹：定时清除滤芯积尘，维持恒定气流通过性38。

吸口组件的低干扰设计

吸头配备气流缓冲结构，降低局部风速突变；软管长度定制化，减少拖拽扰动。

地阀嵌入高架地板，使用时开启，非使用状态密闭，保障洁净室正压。

三、操作规范与气流保护

清扫时序控制

生产间隙进行清扫，单向流洁净室优先从高效过滤器区域向排风口推进，平行覆盖移动减少乱流。

湿法清洁前需真空预清理，防止水分携带颗粒扩散。

监测与维护

采用 质量流量防堵塞传感器（如FS7002） 实时监测管道气流，异常时自动调整负压。

定期启用管路末端清扫阀，清除主管道积尘，维持气流畅通8。

四、典型应用场景对比

系统类型 适用场景 气流控制优势 局限

集中固定式 大面积/高级别洁净室 负压稳定，吸力均匀510 安装成本高

便携移动式 小面积/临时清扫 灵活性高，适配局部清洁56 需配置同级过滤器

防爆型（Eurovac） 医药/化工洁净室 多级离心泵精准控压，HEPA过滤1014 维护复杂度高

结论

真空清扫系统的气流速度控制需协同洁净室动态环境：主机外置降低干扰、多级过滤保障排气洁净、吸口设计匹配风速均一性。实施中建议结合传感器监测与自动稳压技术（如311），并遵循“从洁到污、平行覆盖”的清扫路径，最大限度维持洁净室气流稳定性。完整技术参数可参考工程设计规范27。