在电子厂的洁净环境中,防爆真空清扫系统需同时满足粉尘防爆和微粒污染控制的双重要求。以下是核心洁净要求及技术要点:
一、防爆设计要求
抗爆结构
采用圆形抗爆外壳设计,可承受爆炸产生的瞬时压力(≥30kPa),避免破裂引发二次事故。
泄爆装置:配置泄爆门或泄压阀,当内部压力超标时快速释放能量,防止爆炸扩散。
防静电与接地
系统整体需接地,滤材采用防静电材质(如覆膜滤材),避免静电火花引燃粉尘。
二、高效过滤系统
过滤精度
使用高效覆膜滤材或HEPA过滤器,过滤效率≥99.9%,可拦截0.3μm以上微粒,防止金属碎屑、纤维等污染组件138。
清灰方式
采用脉冲反吹或机械振尘技术,减少人工干预,避免滤芯堵塞导致吸力下降8。
三、管道布局与负压控制
低阻力管网设计
管道采用大曲率弯头(曲率半径≥2.5倍直径)和抗磨损三通,降低粉尘堆积风险。
吸尘口密度:每5-10米设置一个吸尘阀门,覆盖产尘点,缩短软管长度(≤10米)以减少压力损失7。
负压参数
系统需维持≥30kPa的高负压,确保微小粉尘被有效吸附,避免沉降。
四、洁净环境适配
无尘操作模式
主机置于洁净区外,过滤后气体经消音器排放至室外,避免车间内噪音和异味污染37。
二次污染防控
集尘仓采用密封设计,卸料时通过气动或电动锁紧装置防止粉尘泄漏7。
五、认证与维护标准
合规认证
需通过ATEX、IECEx等防爆认证,并符合《烟草加工系统粉尘防爆安全规程》(GB18245-2000)中对除尘系统的隔离要求。
维护规范
每日清理集尘袋,每周清洁滤芯,每3-6个月更换滤材。
定期检测密封性、电机绝缘性及接地有效性。
典型应用场景
工艺产尘环节:线路板裁切、钻孔、焊接等工序的金属碎屑收集58。
洁净车间维护:24小时连续运行,配合变频控制节能20%以上7。
通过上述设计,防爆真空清扫系统可满足电子厂ISO Class 5-8级洁净度要求,同时降低粉尘爆炸风险。具体参数需根据车间面积、产尘量等定制,建议参考3410中的系统设计规范。